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日本爱发科(ULVAC)5MHz金电极晶振片UCR-5MAU-12功能介绍

UCR-5MAU-12 是日本爱发科(ULVAC)生产的 5MHz 金电极晶振片(水晶板),用于真空镀膜机的膜厚控制。

一、基本参数

  • 品牌:ULVAC 爱发科

  • 型号:UCR-5MAU-12

  • 频率5 MHz

  • 电极Au(金)

  • 尺寸φ12.4 mm

  • 包装12 片 / 盒(多传感器专用盒,免工具快速更换)

  • 适用:金属膜、光学膜、OLED 有机膜沉积

二、核心特点

  1. 热稳定性优异:辐射热导致的频率漂移极小,成膜过程温度特性好

  2. 长寿命:抗热冲击、快门开闭波动小,速率稳定性高

  3. 多传感器兼容:适配 CRTS-12NS 多传感器头,可单张或整盒 12 片快速更换

  4. 适配控制器:CRTM-6000G、CRTM-9200 等系列晶控仪

三、型号含义(简要)

  • UCR:ULVAC 高稳定晶振片系列

  • 5:5MHz 频率

  • M:多传感器(Multi-sensor)

  • A:高级型

  • U:金电极(Au)

  • 12:12 片装

四、常见替代型号

  • UCR-5MAG-12:同规格 银电极(Ag) 版本

  • UCR-6MAU-12:6MHz 金电极

  • UCR-4MAG-12:4MHz 银电极