UCR-5MAU-12 是日本爱发科(ULVAC)生产的 5MHz 金电极晶振片(水晶板),用于真空镀膜机的膜厚控制。
一、基本参数
品牌:ULVAC 爱发科
型号:UCR-5MAU-12
频率:5 MHz
电极:Au(金)
尺寸:φ12.4 mm
包装:12 片 / 盒(多传感器专用盒,免工具快速更换)
适用:金属膜、光学膜、OLED 有机膜沉积
二、核心特点
热稳定性优异:辐射热导致的频率漂移极小,成膜过程温度特性好
长寿命:抗热冲击、快门开闭波动小,速率稳定性高
多传感器兼容:适配 CRTS-12NS 多传感器头,可单张或整盒 12 片快速更换
适配控制器:CRTM-6000G、CRTM-9200 等系列晶控仪
三、型号含义(简要)
UCR:ULVAC 高稳定晶振片系列
5:5MHz 频率
M:多传感器(Multi-sensor)
A:高级型
U:金电极(Au)
12:12 片装
四、常见替代型号
UCR-5MAG-12:同规格 银电极(Ag) 版本
UCR-6MAU-12:6MHz 金电极
UCR-4MAG-12:4MHz 银电极