基础信息
品牌：日本 SEM（坂本電機製作所 SAKAMOTO ELECTRIC）
品类：有线分体式双轴高精度数字水平仪（倾角仪）
定位：精密设备现场调平专用基础款，无本地数据存储功能
一、核心硬件构成
检测传感器
尺寸：Φ50 mm × 厚度 19 mm，不锈钢底座
重量：仅 70 g，轻薄可放入设备狭小腔体、晶圆载台内部
标配连接线：2 m 有线传输线缆，传感器内置密闭防尘结构
手持显示主机
4.3 英寸彩色触控液晶屏，仿真传统气泡可视化界面
尺寸：W96 × D36 × H145 mm，整机重约 280 g
供电：专用 DC6V/2A 适配器 或 4 节 AA 干电池，电池续航约 50 h
二、关键技术参数
表格
| 参数项目 | 技术指标 |
|---|---|
| X/Y 轴测量量程 | ±0.3° |
| 系统测量精度 | ±0.001°（等效 17.5 μm/m） |
| 测量分辨率 | 0.0002°，屏幕最小显示 0.0001° |
| 零点重复精度 | ≤±0.001° |
| 响应速度 | ≤50 ms，实时捕捉微小倾角变动 |
| 量程档位切换 | 0.01° / 0.001° / 0.0001° 三档 |
| 单位切换 | 角度 °、度分秒、μm/m 线性倾斜度 |
| 工作环境温度 | -10℃ ～ +50℃，适配洁净车间、精密机房 |
| 核心芯片 | 32 位主控 + 14 位高精度 A/D 模数转换 |
主流应用场景
半导体行业：光刻机、刻蚀机、镀膜机、晶圆载台高精度水平校准；无尘车间精密平台找平；
高端精密机床：五轴加工中心、磨床、坐标测量机（CMM）导轨基准调平；
光学检测设备：干涉仪、光学平台、显微镜基座水平校正；
实验室精密仪器：高精度测试台、真空腔体、自动化工装基准找平。