OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG50F
TG50F柔性姿态复合分子泵的特点
自由安装位置
小巧尺寸
节能
快速启动
快速停止排气
能抵抗大气冲击
可进行串行通信
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・制造各种电子元件
・分析和测试设备
灯泡制造、光学元件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究
・热处理
・研发
*排放腐蚀性气体时,请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
| 进气法兰 | VG65 ISO-R63 CF63 |
| 泵送速度 | N2 (升/秒) | 51 |
| N 2(带防护网)(升/秒) | 49 |
| H2 (升/秒) | 12 |
| 最大压缩比 | N2 | 1.4× 10⁷ |
| H2 | 5× 102 |
| 极限压力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <3× 10 |
| VG・ISO-R/CF(托) | <2.3× 10-8 |
| 最大气体流量*1 | N2 (sccm ) | 80 |
| 启动时间 | (分钟) | 1-1.5 |
| 停机时间 | (分钟) | 1-1.5 |
| 允许的辅助压力 | (帕/托) | 1330 / 10 |
| 推荐的备用泵 | (升/分钟) | ≥50 |
| 安装位置 | 自由 |
| 大量的 | VG・ISO-R / CF(kg) | 4.2 / 6 |
| 控制器模型 | TC64 |
*1:辅助泵流量为 100 升/分钟时的最大允许流量
【环境温度】
保证极限压力下的环境温度为10~23℃。空冷型号的允许环境温度为10~32℃,水冷型号的允许环境温度为10~40℃。保证极限压力下的冷却水温度为30℃或以下,允许冷却水温度为10~35℃。
【兼容气体】
根据吸入气体的类型,可能会对轴承润滑脂和内部零件造成损害。请联系我们获取兼容气体的相关信息。