OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG50F

TG50F柔性姿态复合分子泵的特点

自由安装位置
小巧尺寸
节能
快速启动
快速停止排气
能抵抗大气冲击
可进行串行通信

・半导体制造

・电子枪排气、离子源排气

・FPD制造

・表面处理、表面改性

・制造各种电子元件

・分析和测试设备

灯泡制造、光学元件制造

加速器、辐射设施、核聚变研究

・热处理

・研发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。

进气法兰		VG65 ISO-R63 CF63
泵送速度	N2 （升/秒）	51
	N 2（带防护网）（升/秒）	49
	H2 （升/秒）	12
最大压缩比	N2	1.4× 10⁷
最大压缩比	H2	5× 102
极限压力	VG・ISO-R/CF (Pa)	<3× 10
极限压力	VG・ISO-R/CF（托）	<2.3× 10-8
最大气体流量*1	N2 （sccm ）	80
启动时间	（分钟）	1-1.5
停机时间	（分钟）	1-1.5
允许的辅助压力	（帕/托）	1330 / 10
推荐的备用泵	（升/分钟）	≥50
安装位置		自由
大量的	VG･ISO-R / CF(kg)	4.2 / 6
控制器模型		TC64

*1：辅助泵流量为 100 升/分钟时的最大允许流量

【环境温度】
保证极限压力下的环境温度为10～23℃。空冷型号的允许环境温度为10～32℃，水冷型号的允许环境温度为10～40℃。保证极限压力下的冷却水温度为30℃或以下，允许冷却水温度为10～35℃。
【兼容气体】
根据吸入气体的类型，可能会对轴承润滑脂和内部零件造成损害。请联系我们获取兼容气体的相关信息。