OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG60F

TG60F柔性姿态复合分子泵的特点

• 自由安装位置

• 小巧尺寸

• 节能

• 快速启动

• 快速停止排气

• 能抵抗大气冲击

• 高压缩比

• 集成控制器

• 安全标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE（*仅限TG60F-20）

• 半导体制造

• 电子枪排气，离子源排气

• FPD制造

• 表面处理、表面改性

• 制造各种电子元件

• 分析和测试设备

• 管材制造、光学元件制造

• 加速器、辐射设施和核聚变研究

• 热处理

• 研究与开发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。