OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG70F
TG70F柔性姿态涡轮分子泵的特点
控制器采用紧凑型设计,将集成式
涡轮分子泵(复合分子泵)的控制器集成其中。无需输出电缆或单独的控制器,也无需电缆管道或控制器机架。省去了繁琐的电缆布线,使安装更加便捷。这不仅提高了设备设计的灵活性,还有助于降低成本。此外,还提供两种类型的控制器可供选择:泵集成式和独立式。
它可以从各个方向直接连接到柔性安装
装置上。这使得管道设计更简单,排气效率更高。
它具有抗振动和
抗加速度性能,即使在泵运转时也能移动。经证实,即使在发生强烈地震的情况下,它也能重新启动。它还可以连接到排气车和腔室门等运动部件上。
高压缩比
H2可实现10 5的最大压缩比,使其能够有效地排出轻质气体。
尺寸紧凑:
通过简化结构,使其体积更小、重量更轻成为可能。
快速启动
:启动速度快,待机时间短。
该结构能够抵抗大气冲击
,并能承受突然的压力增加,因此能够有效应对因泄漏而导致的突然停止、频繁的启动和停止以及涉及大气冲击的重复操作。
长期使用:
经过适当的检修,该泵可长期使用。*泵的设计寿命超过10万小时。
可进行串行通信,
标配符合 RS232C 标准的串行接口。
安全标准符合性:NRTL/SEMI-S2/CE
*TG70F-20 仅限
半导体制造
电子枪排气,离子源排气
FPD制造
表面处理、表面改性
制造各种电子元件
分析和测试设备
管材制造、光学元件制造
加速器、辐射设施和核聚变研究
热处理
研究与开发
*排放腐蚀性气体时,请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列
| 控制器模型 | TC76 |
| 输入电压(ACV) | 100-230 (±10%) |
| 输入频率(赫兹) | 50/60 |
| 输入相位数 | 单相 |
| 最大功率需求(VA) | 240 |
| 输出频率(赫兹) | 1500 |
| 质量(千克) | 2.4 |
| 标准配件 | 输入接口:1个; 远程接口:1个; 使用说明书(主机):1份 |
| 适用泵型号 | TG70F-20 |