OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG70F

TG70F柔性姿态涡轮分子泵的特点

• 控制器采用紧凑型设计，将集成式
  涡轮分子泵（复合分子泵）的控制器集成其中。无需输出电缆或单独的控制器，也无需电缆管道或控制器机架。省去了繁琐的电缆布线，使安装更加便捷。这不仅提高了设备设计的灵活性，还有助于降低成本。此外，还提供两种类型的控制器可供选择：泵集成式和独立式。
  
  

• 它可以从各个方向直接连接到柔性安装
  装置上。这使得管道设计更简单，排气效率更高。
  
  

• 它具有抗振动和
  抗加速度性能，即使在泵运转时也能移动。经证实，即使在发生强烈地震的情况下，它也能重新启动。它还可以连接到排气车和腔室门等运动部件上。
  
  

• 高压缩比
  H2可实现10 5的最大压缩比，使其能够有效地排出轻质气体。
  
  

• 尺寸紧凑：
  通过简化结构，使其体积更小、重量更轻成为可能。
  
  

• 快速启动
  ：启动速度快，待机时间短。
  
  

• 该结构能够抵抗大气冲击
  ，并能承受突然的压力增加，因此能够有效应对因泄漏而导致的突然停止、频繁的启动和停止以及涉及大气冲击的重复操作。
  
  

• 长期使用：
  经过适当的检修，该泵可长期使用。*泵的设计寿命超过10万小时。
  
  

• 可进行串行通信，
  标配符合 RS232C 标准的串行接口。
  
  

• 安全标准符合性：NRTL/SEMI-S2/CE
  *TG70F-20 仅限

• 半导体制造

• 电子枪排气，离子源排气

• FPD制造

• 表面处理、表面改性

• 制造各种电子元件

• 分析和测试设备

• 管材制造、光学元件制造

• 加速器、辐射设施和核聚变研究

• 热处理

• 研究与开发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列