OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG240F

TG240F 柔性位置涡轮分子泵的特点

• 高氢气压缩比

• 即使在高背压下也能连续运行，泵送性能稳定。

• 控制器集成型

• 360°全方位自由安装位置

• 抗震性能好，即使泵运行时也能移动。

• 半导体制造

• 电子枪排气，离子源排气

• FPD制造

• 表面处理、表面改性

• 制造各种电子元件

• 分析和测试设备

• 管材制造、光学元件制造

• 加速器、辐射设施和核聚变研究

• 热处理

• 研究与开发

*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。