OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG350F
自由安装位置
小巧尺寸
节能
快速停止排气
能抵抗大气冲击
可进行串行通信
符合NRTL/SEMI-S2/CE安全标准
■ 半导体制造
■ 电子枪排气，离子源排气
■ FPD制造
■ 表面处理和表面改性
■ 制造各种电子元件
■ 分析和测试设备
■ 管材制造、光学元件制造
■ 加速器、辐射设施和核聚变研究
■ 热处理
■ 研究与开发
*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
| 模型 | TG350F |
| 进气法兰 | VG100
ISO-R100
CF100 |
| 泵送速度 | VG / ISO-R・CF
N 2 (升/秒) | 350 / 330 |
VG / ISO-R・CF
N 2（带防护网）（L/s） | 330 / 310 |
VG / ISO-R・CF H2
( L/s) | 210 / 210 |
| 最大压缩比 | N2 | 1× 108 |
| H2 | 2× 103 |
| 极限压力 | （帕/托） | <1×10⁻⁶ / <7.5× 10⁻⁹ |
| 最大气体流量*1 | (sccm) | 500 |
| 启动时间 | （分钟） | 2-2.5 |
| 停机时间 | （分钟） | 5-6.5 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托） | 260 / 2 |
| 推荐的备用泵 | （升/分钟） | ≥80 |
| 安装位置 | 自由 |
| 大量的 | VG・ISO-R / CF(kg) | 6/9 |
| 控制器模型 | TC353 |
*1：当备用泵流量为 160 L/min 时，最大允许流量。
[环境工作温度]
保证极限压力的环境温度为 10 至 23°C。空冷机型的允许环境温度为 10 至 32°C，水冷机型的允许环境温度为 10 至 40°C。保证极限压力的冷却水温度为 30°C 或以下，允许冷却水温度为 10 至 35°C。
[兼容气体]
根据吸入气体的类型，可能会损坏轴承润滑脂和内部零件。请联系我们了解兼容气体的相关信息。
