OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG1100F
■自由安装位置
■小巧尺
■ 节能
■ 快速启动
能够抵抗大气冲击的结构
■可进行串行通信
■符合安全标准NRTL/SEMI-S2/CE
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・制造各种电子元件
・分析和测试设备
灯泡制造、光学元件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究
・热处理
・研发
*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
| 模型 | TG1100F | TG1100F*A*-60/TG1100F*W* |
| 进气法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 |
| 泵送速度 | N2 （升/秒） | 1100 |
| N 2（带防护网）（升/秒） | 1000 |
| H2 （升/秒） | 720 |
| 最大压缩比 | N2 | 1× 108 |
| H2 | 1× 104 |
| 极限压力 | （Pa/Torr） | <1 × 10⁻⁶ /<7.5×10⁻⁹ |
| 最大气体流量*1*2 | (sccm) | 330 | 860 |
| 启动时间*2 | （分钟） | 7-9 | 5.5-7 |
| 停机时间*2 | （分钟） | 27-32 | 12-15 |
| 允许的辅助压力 | （Pa/Torr） | 330/2.5 |
| 推荐的备用泵 | （升/分钟） | ≥250 |
| 安装位置 | 自由 |
| 大量的 | VG・ISO-B/CF(kg) | 28/27 |
| 控制器模型 | TC1104 | TC1103 *3 |
*1：辅助泵流量为 500 升/分钟时的最大允许流量
*2：因电源型号而异（标准：TC1104）
*3：如果是风冷式，则必须更换冷却风扇（TG1100F***-60）
[环境工作温度]
保证极限压力的环境温度为10～23℃。空冷式允许环境温度为10～32℃，水冷式允许环境温度为10～40℃。保证极限压力的冷却水温度为30℃或以下，冷却水允许温度为10～35℃。
[兼容气体类型]
根据吸入气体的类型，可能会导致轴承润滑脂和内部零件劣化。请联系我们了解兼容的气体类型。
