■强旋转轴

　→可实现低真空启动和连续低真空运行

■您可以选择与负载条件相匹配的电机

　→ 降低设备成本和提高运营效率可节省成本

■多种泵速可供选择

　→ 90 至 12,000立方米/小时

■与辅助泵的各种组合

　→罗茨式+油旋转/液封型

■ 皮带传动，实现高泵送速度

■非常适合用于排出大容量腔室内的气体

■泄压阀（可选）即使在高吸入压力范围内也能最大限度地提高排气能力

■ 提出最适合您流程的最佳组合

・半导体、FPD

・薄膜涂层

・金属、钢铁、工业设备

・医疗、化工、制药、食品

・研发

*1：有效泵速取决于辅助泵。详情请咨询我们的销售代表。
*2：冷却水最高温度为30℃。
运行环境温度：+10℃至+40℃；储存环境温度：-5℃至+60℃。
为防止结冰，储存前请排空冷却水。