Yamato雅马拓等离子反应堆PR510

PR100（

产品概述

等离子反应器的特点（PR510（质量流量计规格））

产品特性

配备大直径（φ215mm）石英腔室

产品特性

易于操作的触摸面板系统（PR510 型）

主要规格

规格

产品代码	215012
模型	PR510（质量流量计规格）
方法	DP枪管类型
控制单元高频输出	功率 500 瓦
控制单元振荡频率	13.56MHz
控制单元同步方法	自动调校
反应段反应罐	由石英制成，直径215毫米，厚度305毫米。
反应段反应气体系统	2 个系统（O 2 /CF 4）
反应段控制系统	触摸面板自动序列
反应段管道材料	SUS，特氟龙
外形尺寸和重量	请参阅规格说明
内部尺寸（直径 x 深度）	φ215×305mm
外部尺寸（宽 x 深 x 高）	520×630×760毫米
功率容量	三相交流200V 8A 断路器容量和15A电源容量
重量	70公斤