Yamato雅马拓等离子干洗机PDC210

PDC210

紧凑型设计，是研发的理想之选

配备 RIE 模式和 DP 模式（PDC510 标配，PDC200/210 可选）。

触摸面板系统操作简便，数据采集也很简单。

●CSP、BGA、COB基板的等离子体处理
●去除有机薄膜和金属氧化物薄膜
●印刷电路板的干洗
●表面活化处理
●LED组装

产品代码	328211
模型	PDC210
等离子模式	RIE（DP模式选项）
电极结构	平行板（固定在电极之间）
高频输出	功率 500 瓦
振荡频率	13.56MHz晶体振荡器
控制和显示（仪器）	LCD触摸面板
舞台尺寸	宽度 250 x 深度 170 毫米
腔室材料	铝
反应气体	2 个系统（氩气，氧气）
吹扫气体	氮气或干燥空气
反应气体流量控制	质量流量控制器
真空泵	标配旋转真空泵（约 345 升/分钟）。
气体入口	2 种反应性气体，1 股吹扫气
内部尺寸（宽 x 深 x 高）	400×250×150毫米
外部尺寸（宽 x 深 x 高）	540×600×600毫米
功率容量	三相交流200V 50/60HzV 6A 断路器容量和电源容量16A。不含电源插头。
重量	105公斤