Yamato雅马拓等离子干洗机PDC200
产品概述
主要规格
<div class="c-info2" ヒラギノ角ゴ="" pro",="" "hiragino="" kaku="" gothic="" メイリオ,="" meiryo,="" sans-serif;"="" style="margin: 0px; box-sizing: border-box; -webkit-tap-highlight-color: transparent; appearance: none; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; color: rgb(51, 51, 51); font-family: "Microsoft YaHei"; text-wrap-mode: wrap; background-color: rgb(255, 255, 255); outline: 0px;">
| 产品代码 | 328210 |
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| 模型 | PDC200 |
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| 等离子模式 | RIE(DP模式选项) |
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| 电极结构 | 平行板(固定在电极之间) |
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| 高频输出 | 功率 300 瓦 |
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| 振荡频率 | 13.56MHz晶体振荡器 |
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| 控制和显示(仪器) | LCD触摸面板 |
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| 舞台尺寸 | 宽度 250 x 深度 170 毫米 |
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| 腔室材料 | 铝 |
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| 反应气体 | 2 个系统(氩气,氧气) |
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| 吹扫气体 | 氮气或干燥空气 |
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| 反应气体流量控制 | 流量计 |
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| 真空泵 | 请另行准备(详情请联系我们)。 |
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| 气体入口 | 2 种反应性气体,1 股吹扫气 |
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| 内部尺寸(宽 x 深 x 高) | 400×250×150毫米 |
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| 外部尺寸(宽 x 深 x 高) | 540×600×600毫米 |
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| 功率容量 | 单相交流100V 50/60HzV 10A 断路器容量和电源容量15A。不含电源插头。 |
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| 重量 | 100公斤 |
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