美国ZYGO台式3D光学表面轮廓仪New View 9000性能介绍

NewView™ 9000（常称 New View 9000）是美国 ZYGO 公司出品的高端台式 3D 光学表面轮廓仪（白色干涉仪），主打非接触、亚纳米级精度的微观表面形貌测量，是精密计量领域的旗舰机型

一、核心技术与原理

• 技术基础：相干扫描干涉测量（CSI），结合 SureScan™ 抗震与 SmartPSI™ 相移干涉专利技术。

• 核心优势：垂直分辨率 < 0.1 nm（亚埃级），全倍率范围精度一致，测量速度快（秒级）。

• 测量方式：完全非接触、无损，样品无需预处理。

二、关键规格参数

• 测量范围

• 垂直（Z 轴）：最大 10 mm

• 水平（XY 视场）：随物镜变化，最大约 8 mm

• 精度

• 垂直重复性：≤ 0.08 nm

• 台阶高度精度：< 0.1%

• 光学系统

• 物镜：1.0X ~ 100X 选配

• 传感器：**190 万像素（1.9 MP）** 高灵敏度相机

• 样品台：手动 / 自动 5 轴（XYZRP）可选

• 软件：Mx™，支持 ISO 25178/4287 标准、3D 成像、SPC 统计、自动化报表

三、型号与配置

• 标准型号

• 6311-0100-01：内置隔振台（通用型）

• 6311-0100-11：无内置隔振（适配外部平台）

• 核心配置：光学镜头组、电动 XYZ 轴、控制器、Mx 软件、工作台

四、主要应用领域

• 半导体：晶圆、光刻胶、薄膜厚度、台阶高度

• 精密制造：金刚石车削、MEMS、微透镜、轴承

• 材料科学：表面粗糙度、波纹度、腐蚀 / 磨损分析

• 光学行业：超光滑镜面、光学元件面形检测

• 生物医疗：植入体表面、生物芯片、微流控芯片

五、与同类产品对比

• 优势：精度极高（亚纳米）、稳定性强、抗干扰、适用表面类型极广（光滑 / 粗糙 / 倾斜 / 透明）。

• 定位：高于入门级 Zygo ZeGage 系列，对标 Bruker ContourGT、Olympus LEXT 等顶级机型。

• 价格：中高端（约数十万～百万元级），依配置而定。