玉崎科学精品--西班牙Sensofar台式3D光学轮廓仪S lynx2

S lynx2（全称 Sensofar S lynx 2）是西班牙 Sensofar 公司推出的旗舰级台式 3D 光学轮廓仪，主打 “三合一” 核心测量技术，是工业与科研领域高精度表面形貌分析的主流机型。

一、核心技术：三合一测量（专利）

1. 干涉测量（CSI/EPSI）

• 精度：亚纳米级（≤0.1nm）

• 适用：超光滑表面（光学镜片、半导体晶圆、抛光金属）

2. 共聚焦（Confocal）

• 分辨率：横向最高 0.09μm

• 适用：高斜率、深槽、粗糙表面、微结构（MEMS、刀具纹理）

3. AI 多焦面叠加（Focus Variation）

• 速度：全场快速对焦（约 2 秒）

• 适用：透明 / 半透明材料、倾斜面、大面积拼接

二、关键规格参数

• 测量范围

• Z 轴：10 nm ~ 10 mm（依技术 / 物镜）

• XY 台：125 mm × 75 mm（电动拼接）

• 精度

• 垂直噪声：≤0.08 nm（EPSI 模式）

• 台阶精度：<0.1%

• 物镜：1.5X ~ 100X 选配

• 软件：SensoSCAN + SensoVIEW

• 支持 ISO 25178/4287 粗糙度、3D 形貌、膜厚、台阶、尺寸分析

• 自动化：APM 自动程序模块（批量 / 多位置测量）

三、主要应用领域

• 半导体：晶圆、光刻胶、薄膜厚度、CD 线宽

• 光学：超光滑镜面、透镜面形、衍射元件

• 汽车：发动机部件、轴承、燃油喷嘴、内饰纹理

• 电子：PCB、FPC、芯片封装、消费电子外壳

• 材料：腐蚀、磨损、涂层、生物材料表面

• MEMS / 微制造：微流控、微模具、精密零件

四、优势与定位

• 优势

• 一机多能：无需换设备，覆盖从镜面到粗糙面全场景

• 精度 + 速度：亚纳米级精度，AI 对焦提速

• 紧凑工业设计：抗震、占地小、车间 / 实验室通用

• 市场定位

• 对标：ZYGO NewView 9000、Bruker ContourGT-K

• 价格：80 万～130 万元（依配置）

• 定位：多功能高精度 3D 测量首选，比单技术机型更灵活

一句话总结：S lynx2 是目前综合性能最强的 “万能型” 3D 光学轮廓仪，精准解决 “一种设备测所有表面” 的需求。

文章版权：玉崎科学仪器（深圳）有限公司