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精品讲解:日本三丰(Mitutoyo)手动型明暗视场通用测量显微镜MF-UD1010D

MF-UD1010D 是日本三丰(Mitutoyo)MF-U 系列3 轴手动型明暗视场通用测量显微镜,主打X/Y/Z 三维测量 + 高分辨观察,适用于精密零件、半导体、电子元器件等高精度检测。

一、型号含义与定位

  • 品牌:Mitutoyo(三丰,日本)

  • 系列:MF-U(通用测量显微镜)

  • 编码解析

    • U:通用型(Universal)

    • D:3 轴(X/Y/Z)测量(区别于 2 轴 C 型)

    • 1010:XY 工作台行程 100×100 mm

    • D:明暗视场(Bright/Dark Field)

  • 核心用途:长度 / 角度 / 高度测量、微小尺寸检测、金相观察、精密零件 / 半导体 / 电子 / 模具质检

二、关键技术参数

参数项规格
测量轴数3 轴(X/Y/Z)
XY 行程100×100 mm
Z 轴行程约 150 mm(工件最大高度)
分辨率0.1/0.5/1 μm 三档切换
测量精度符合 JIS B 7153(三丰同类最高精度)
光学系统明暗视场(明场 + 暗场),正像观察
物镜ML 系列高 NA 长工作距离物镜(1×–100× 可选)
目镜10×(标配),可选 15×/20×
照明反射 / 透射可选:LED(70W)卤素(120W)
工作台快速释放粗调 / 微调切换,浮动模式
镜筒30° 倾斜双目,50:50 分光(观察 / 相机)
数据输出数字显示,支持外接测量软件(如 M2)
主机尺寸562×730×667 mm
重量约 67 kg

三、核心功能与优势

  • 三维测量:X/Y/Z 三轴光栅,覆盖平面 + 高度 / 深度测量

  • 明暗视场:明暗场切换,适配低反差、微小缺陷、镀层观察

  • 高精度:JIS B 7153 标准,适合微米级精密检测

  • 操作便捷:XY 快速释放、双侧粗 / 微调手柄、一键置零

  • 光学优异:高 NA 长工作距离物镜,无闪烁正像、大视场

  • 扩展性强:标配相机端口,可接 CCD / 影像系统、测量软件

四、同系列型号对比(MF-U)

型号轴数视场XY 行程特点
MF-UD1010D3 轴明暗100×100 mm标准 3 轴,小行程
MF-UC1010D2 轴明暗100×100 mm仅 X/Y,无 Z
MF-UD2010D3 轴明暗200×100 mm大行程
MF-UA1010D2 轴明场100×100 mm仅明场,经济型

五、典型应用

  • 精密机械:齿轮、螺纹、刀具、模具尺寸检测

  • 电子半导体:芯片、晶圆、PCB、连接器微小尺寸测量

  • 汽车航空:精密零件、注塑件、医疗器件质检

  • 材料金相:金属组织、镀层厚度、缺陷观察