MF-UD1010D 是日本三丰(Mitutoyo)MF-U 系列的3 轴手动型明暗视场通用测量显微镜,主打X/Y/Z 三维测量 + 高分辨观察,适用于精密零件、半导体、电子元器件等高精度检测。
一、型号含义与定位
品牌:Mitutoyo(三丰,日本)
系列:MF-U(通用测量显微镜)
编码解析:
U:通用型(Universal)
D:3 轴(X/Y/Z)测量(区别于 2 轴 C 型)
1010:XY 工作台行程 100×100 mm
D:明暗视场(Bright/Dark Field)
核心用途:长度 / 角度 / 高度测量、微小尺寸检测、金相观察、精密零件 / 半导体 / 电子 / 模具质检
二、关键技术参数
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 测量轴数 | 3 轴(X/Y/Z) |
| XY 行程 | 100×100 mm |
| Z 轴行程 | 约 150 mm(工件最大高度) |
| 分辨率 | 0.1/0.5/1 μm 三档切换 |
| 测量精度 | 符合 JIS B 7153(三丰同类最高精度) |
| 光学系统 | 明暗视场(明场 + 暗场),正像观察 |
| 物镜 | ML 系列高 NA 长工作距离物镜(1×–100× 可选) |
| 目镜 | 10×(标配),可选 15×/20× |
| 照明 | 反射 / 透射可选:LED(70W) 或 卤素(120W) |
| 工作台 | 快速释放粗调 / 微调切换,浮动模式 |
| 镜筒 | 30° 倾斜双目,50:50 分光(观察 / 相机) |
| 数据输出 | 数字显示,支持外接测量软件(如 M2) |
| 主机尺寸 | 562×730×667 mm |
| 重量 | 约 67 kg |
三、核心功能与优势
三维测量:X/Y/Z 三轴光栅,覆盖平面 + 高度 / 深度测量
明暗视场:明暗场切换,适配低反差、微小缺陷、镀层观察
高精度:JIS B 7153 标准,适合微米级精密检测
操作便捷:XY 快速释放、双侧粗 / 微调手柄、一键置零
光学优异:高 NA 长工作距离物镜,无闪烁正像、大视场
扩展性强:标配相机端口,可接 CCD / 影像系统、测量软件
四、同系列型号对比(MF-U)
| 型号 | 轴数 | 视场 | XY 行程 | 特点 |
|---|---|---|---|---|
| MF-UD1010D | 3 轴 | 明暗 | 100×100 mm | 标准 3 轴,小行程 |
| MF-UC1010D | 2 轴 | 明暗 | 100×100 mm | 仅 X/Y,无 Z |
| MF-UD2010D | 3 轴 | 明暗 | 200×100 mm | 大行程 |
| MF-UA1010D | 2 轴 | 明场 | 100×100 mm | 仅明场,经济型 |
五、典型应用
精密机械:齿轮、螺纹、刀具、模具尺寸检测
电子半导体:芯片、晶圆、PCB、连接器微小尺寸测量
汽车航空:精密零件、注塑件、医疗器件质检
材料金相:金属组织、镀层厚度、缺陷观察