一、基础型号释义

• EV-M：重载水冷多级罗茨干式干泵系列（主打强腐蚀、高粉尘半导体工艺）

• 20：机型规格

• N：镍基标准防腐型（标配耐卤素酸性气体；SF = 特氟龙超强防腐款、P = 氮气吹扫定制）

二、核心技术参数

三、产品特性

1. 全无油干式结构：转子无接触运转，无润滑油污染真空腔体，满足半导体洁净制程

2. 防腐标配：泵腔、转子标准耐蚀镍合金，适配 HF、Cl₂等蚀刻腐蚀性尾气

3. 高温控温：内置分区伴热，防止工艺粉尘、凝华物堵泵，适配 CVD / 刻蚀高副产物工况

4. 合规认证：SEMI-S2、CE、NRTL 半导体设备安全认证，原厂日本荏原制作所生产

四、适用行业

1. 半导体：小型刻蚀机、ALD、PVD、MOCVD、晶圆负载锁前级真空

2. 光伏 / 面板：薄膜沉积、等离子制程

3. 实验室：高腐蚀真空腔体、精密镀膜、真空烧结

五、同系列区分

• EV-S：风冷轻载洁净干泵（无防腐、普通洁净工况）

• EV-X：螺杆中载干泵（通用普通蚀刻）

• EV-M：水冷重载（EV-M20N 起，全防腐、重腐蚀量产主力）