玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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日本EBARA荏原制作所 干式真空泵ESA15-D
同系列：EST25N、EST100WN、EST200WN、EST300WN、EST500WN、EST800WN（大抽速机型）
干式无油结构，无油污染，适配半导体洁净制程
泵体可加温，防止反应物冷凝结块堵泵
变频调速，负载自适应、能耗低、符合 SEMI-S2/CE 认证
