EBARA 荏原 EV-X100N 干式无油螺杆真空泵(日本原装)
一、核心参数
标称抽气量:10000 L/min(10m³/min)
极限真空:0.5Pa(干泵空载)
电源:三相 200~220V 50/60Hz
空载功耗:0.9~1.5kW,相比旧机型节能 25%~50%
泵结构:多级螺杆干式泵,无油无水、空冷,不用冷却水、无润滑油污染腔体
二、系列同型号对照(EV-X 全系)
| 型号 | 抽速 | 极限真空 |
|---|
| EV-X30N | 3000L/min | 0.5Pa |
| EV-X100N | 10000L/min | 0.5Pa |
| EV-X200N | 20000L/min | 0.5Pa |
| EV-X300N | 30000L/min | 0.5Pa |
三、产品特点
小型紧凑:占地面积比同级干泵小约 30%,便于 Subfab 设备间紧凑布局
耐水汽、耐微量腐蚀:可抽含水蒸气、轻微腐蚀性工艺气体,可选氮气吹扫防腐配置
免日常换油:干式无油结构,维护成本低、寿命长、低噪音低震动
单泵可直抽高真空:无需前级泵,独立满足中高真空制程
四、适用行业
半导体(蚀刻 / CVD/PECVD)、光伏电池、锂电真空脱气、精密镀膜、制药冻干、化工蒸馏等高洁净真空工况。