EBARA 荏原 EV-S20 (P/N) 干式罗茨干泵
型号区分（P/N 后缀含义）
核心参数
| 项目 | EV-S20 (基础) | EV-S20P/EV-S20N |
|---|
| 抽速 | 1670 L/min | 1670 L/min |
| 极限真空 | 3 Pa | 5 Pa |
| 进气口 | NW50 法兰 | NW50 法兰 |
| 排气口 | NW25 法兰 | NW25 法兰 |
| 额定功率 | 约 0.4kW | 约 0.4kW |
| 电压 | 200~220V 50/60Hz（宽频直流电机） | 200~220V 50/60Hz |
| 整机重量 | ≈60kg | ≈62kg |
| 噪音 | ≤57dB | ≤57dB |
产品特点
无油干式真空泵，罗茨多级结构，符合 SEMI-S2/CE 半导体行业标准
自带 LCD 可编程控制器、故障报警、运行数据存储、休眠节能模式
体积紧凑、低功耗，半导体、LED、光伏镀膜、实验室真空常用
P/N 靠氮气隔绝腐蚀性气体，N 型镍合金耐 HF、酸碱腐蚀气体
应用领域
半导体 Loadlock 腔体、光学镀膜、锂电制程、科研真空腔体、小型蚀刻工艺
