| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A |
| 最大排气速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 |
| 电源电压 | 200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% |
| 消费电力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | L/min | >4.0 |
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 |
| 最大水蒸气处理量 *1*3 | kg/h | 1.5 |
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸气口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 |
| 排气口 | KF40 |
| 质量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 适用规格 | CE、cTUVus |
| 标准附属品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer |
| 本体选配件 | Power supply:200V Class or 400V Class Material of seal:FKM or FFKM |
| 外部选配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve |