ULVAC爱发科多级罗茨型干泵ES10/ES4A

ECO-SHOCK是一种通过搭载在当前使用的干泵上，从而实现大幅省电的划时代部件。

特点

• 对节能的贡献
  干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。
  此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗。
  *不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。

• 干泵的性能改进有望提高极限压力性能
  可降低排气噪音
  所有压力范围内，排气速度均不会下降
  在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果
  *可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。

• 安装简单

用途

• 用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵
  溅射设备等的loading/unloading室用的干泵

规格