玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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干泵"Model:GR"是以获得良好业绩和信赖的"Model:LR/HR"为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。
ULVAC爱发科多级罗茨型干泵GR60A/GR90A
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。
适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。
感应电机可通用
可以安装防爆电机等特殊电机（可选）
采用多电压兼容电机
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备放入取出室的真空排气
真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。*2 不结露。*3 通过调节器调节压力计值。*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。
