ULVAC爱发科螺杆型干泵LS120A
"Model:LS"真空泵被归为螺杆型干式真空泵。
以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过独创的螺杆形状和节电技术的融合
使该Model产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
在4种机型中,您可根据设备的大小、使用条件及用途选择最佳排气容量的泵。
特点
■大气压附近的排气速度最大为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以下,
这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级(*1))
■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。
该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下(*2)
■“Model:LS”无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本(*3)
■希望进一步提高排气速度的话,建议您搭配机械增压泵使用。
通过组合使用排气速度可以达到120~1200m3/h。
(*1)LS120A-C时
(*2)C规格时
(*3)L规格还可以使用稀释气体。
用途
“Model:LS”有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型,适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说,包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。
其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能,适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。
规格
*1:到达压力时
*2:C式样不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏