ULVAC爱发科涡旋式干泵DIS-501

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

• 结构紧凑，排气量大。

• 干式真空泵的最高压力水平。

• 内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。。

• 通过空气冲洗抑制水分凝结。。

用途

• 分析设备

• 气体回收系统

• 涂装设备

• TMP的背泵

• 氦气检漏仪

• 半导体制造工艺

规格